型號(hào)

TL1200-BG

簡(jiǎn)介

這是一款坩堝可在爐管內(nèi)移動(dòng)的小型開(kāi)啟式管式爐，爐管外徑為100mm，設(shè)備最高溫度是1200℃，通過(guò)觸摸屏數(shù)字控制器控制樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)的位置和溫度，此設(shè)備可進(jìn)行快速熱處理，例如混合物理化學(xué)沉積、快速熱蒸發(fā)以及在各種氣氛下進(jìn)行的水平布里奇曼生長(zhǎng)，用于新一代晶體研究

功率

3.5 KW

移動(dòng)速度

0.1~2000μm/s（可調(diào)）

1、該設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏

2、觸摸屏中內(nèi)置本公司自主研發(fā)的PLC程序，畫(huà)面友好，操作簡(jiǎn)單

3、軟件做了安全保護(hù)按鈕，防止誤操作損壞設(shè)備

坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)

1、一個(gè)鎧裝熱電偶通過(guò)法蘭伸入到爐管內(nèi)，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的實(shí)際溫度。

2、通過(guò)電機(jī)控制爐管內(nèi)的坩堝，行程可定制

3、通過(guò)觸摸屏設(shè)定坩堝的速度和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度0.1~2000μm/s（可調(diào)）

4、在熱電偶上安裝了一個(gè)微型坩堝舟

5、可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基地支架，需額外收費(fèi)

爐管尺寸

 Dia100(OD)×1000mm

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

  國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配Kanthal  A1進(jìn)口 電阻絲）      點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載

控制方式

采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）

FP93控溫儀表（日本島電）                             歐陸儀表                                  觸摸屏儀表

爐膛材料

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術(shù)成型，不掉渣，保溫好。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)

法蘭和閥門(mén)

控制精度

 +/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門(mén)康

最高溫度

 1200 ℃

額定溫度

 1150 ℃

升溫速率

 ≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率

≤10  ℃/ Min

熱電偶型號(hào)

K型

加熱段長(zhǎng)度

440mm

真空度

（選配）

    1、單級(jí)泵 TW-1.5A                 2、 雙級(jí)泵 2XZ-2                 3、 VS-0.1真空系統(tǒng)  

   4、 VS高真空系統(tǒng)                     5、 恒壓泵             6、英國(guó)PCG550（INFICON）電容真空計(jì)

1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來(lái)用：TW-1.5A單級(jí)泵即可。

2、雙級(jí)泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。

3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa（并配帶有電阻真空計(jì)顯示）。

4、VS高真空系統(tǒng)（該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成）能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10^-3 Pa。

5、恒壓泵（該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。

6、英國(guó)（INFICON）電容真空計(jì)（測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好、可選防腐類(lèi)型PCG554）

四周表面溫度

   ≤45℃

爐體上帶有空氣開(kāi)關(guān)和保險(xiǎn)絲 ，當(dāng)電流超過(guò)空開(kāi)的額定電流時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)跳開(kāi)，有效的保護(hù)電爐。

一年保修，終身技術(shù)支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)使用的爐管為石英管時(shí)，爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊

5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）