5路質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng)參數(shù)

一、概述

1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。

3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。

4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

二、技術參數(shù)：

氣路通道：5

氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。

接 口： Φ6

顯 示： LED

工作環(huán)境溫度: 5~45℃

流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細技術參數(shù)請查看后面）

四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)

壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截 止 閥：Φ6

三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。

四、供氣系統(tǒng)的配置：

1、質(zhì)子流量計：5個

2、壓力表：1個

3、截止閥門：6個

4、穿板接頭：6個

5、閥門接頭：2個

6、鋼瓶接頭: 5個

7、聚四氟乙烯管：25M

8、混氣罐：1個

9、爐架：1臺

質(zhì)量流量計技術參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。

主要指標:

量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）

• 準確度：±1.5% F.S
• 線性：±0.5～1.5% F.S
• 重復精度：±0.2% F.S
• 響應時間：10S
• 氣壓降：<0.01MPa
• 最大壓力：3MP
• 工作環(huán)境溫度：5～45℃
• 輸入輸出信號：0～+5.00V
• 電源：+15V 50mA -15V 50mA
• 外形尺寸：158*30*110