型號(hào)

VTL1700-BG

特點(diǎn)

1、該爐具有多種功能，即可做晶體生長(zhǎng)爐使用，也可做普通立式管式爐使用

2、采用進(jìn)口歐陸3504儀表，控溫精度高，±0.1度

3、電機(jī)驅(qū)動(dòng)爐體升降，并安裝限位開關(guān)，升降不會(huì)過沖

4、爐體升降速度可控，升降行程可按客戶要求定制

5、坩堝可用懸掛絲懸掛，也可放置在下方物料支架上

視 頻

功率

5 KW

升降速度

0.1~2000μm/s（可調(diào)）

1、該設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏

2、觸摸屏中內(nèi)置本公司自主研發(fā)的PLC程序，畫面友好，操作簡(jiǎn)單

3、軟件做了安全保護(hù)按鈕，防止誤操作損壞設(shè)備

爐管尺寸

 Dia60(OD)×1400mm

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

                                                                硅鉬棒

控制方式

歐陸儀表     

3504溫度儀表

1：高精度的溫度儀表，LCD液晶顯示屏，5位數(shù)值顯示，通過快速設(shè)置配置簡(jiǎn)單，C/F單位切換。

2：50組程序500步，斷電或停機(jī)，再次啟動(dòng)程序可以設(shè)置從斷電處或起始點(diǎn)啟動(dòng)程序，也具有運(yùn)行，暫停，跳步，停止，復(fù)位等功能。

3：標(biāo)準(zhǔn)的3組PID參數(shù)（可選8組PID參數(shù)），自帶PID自整定功能。

4：數(shù)學(xué)/邏輯運(yùn)算，計(jì)時(shí)器功能，報(bào)警功能，做數(shù)學(xué)及邏輯運(yùn)算功能，比如傳感器與紅外傳感器的自動(dòng)/手動(dòng)切換，高溫爐邏輯控制功能，及相關(guān)報(bào)警策略與功能。

5：配方功能，不同產(chǎn)品可以調(diào)用不同的參數(shù)

6：客戶自定義畫面功能，顯示當(dāng)前值，設(shè)定值，輸出%，程序運(yùn)行狀態(tài)及時(shí)間等，

7：支持各種通訊接口 Modbus, Ethernet, Profibus，Devicenet，可以與任意PLC或上位系統(tǒng)集成

8：OEM密碼功能

9：多語(yǔ)言支持（英語(yǔ)，法語(yǔ)，德語(yǔ)，西班牙，意大利）

10：PC版的iTools圖形組態(tài)軟件，方便組態(tài)，監(jiān)控，調(diào)試

11：UL/CE認(rèn)證                                        

爐膛材料

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術(shù)成型，不掉渣，保溫好。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本最優(yōu)的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)

法蘭和閥門

控制精度

 +/- 0.1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門康

最高溫度

 1700 ℃

額定溫度

 1650 ℃

升溫速率

 ≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率

≤10  ℃/ Min

熱電偶型號(hào)

B型

加熱段長(zhǎng)度

300mm

真空度

（選配）

    1、單級(jí)泵 TW-1.5A                 2、 雙級(jí)泵 2XZ-2                 3、 VS-0.1真空系統(tǒng)  

   4、 VS高真空系統(tǒng)                     5、 恒壓泵             6、英國(guó)PCG550（INFICON）電容真空計(jì)

1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來用：TW-1.5A單級(jí)泵即可。

2、雙級(jí)泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。

3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa（并配帶有電阻真空計(jì)顯示）。

4、VS高真空系統(tǒng)（該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成）能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10^-3 Pa。

5、恒壓泵（該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。

6、英國(guó)（INFICON）電容真空計(jì)（測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好、可選防腐類型PCG554）

下端真空法蘭

1、為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）

2、如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭. 

四周表面溫度

   ≤45℃

爐體上帶有空氣開關(guān)和保險(xiǎn)絲 ，當(dāng)電流超過空開的額定電流時(shí)，空開會(huì)自動(dòng)跳開，有效的保護(hù)電爐。

一年保修，終身技術(shù)支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)使用的爐管為石英管時(shí)，爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊

5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）