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冷坩堝晶體提拉爐

  • 技術(shù)參數(shù)
  • 詳細(xì)描述
  • 視頻展示
  • 標(biāo)準(zhǔn)配置
  • 選配件

 

 

 

      

型號(hào)

VLF-CZ

簡(jiǎn)介

這是一款特殊的提拉法晶體生長(zhǎng)爐,采用懸浮熔煉對(duì)金屬或合金樣品熔煉,最高溫度3000℃。這套設(shè)備有高頻感應(yīng)加熱電源、高真空腔體、水冷銅坩堝,精密提拉機(jī)構(gòu)組成。

優(yōu)點(diǎn)

1、溫度高,最高3000℃

2、采用懸浮熔煉冷坩堝,避免了坩堝的污染,可得到高純度金屬單晶或合金單晶

3、也可做懸浮熔煉爐使用,可澆鑄

技術(shù)方案

1、提拉桿安裝在波紋管內(nèi),上下升降時(shí),腔體真空度不泄漏

2、籽晶安裝在提拉桿下方,原料熔化后,慢慢提拉籽晶,邊提拉邊旋轉(zhuǎn),即可長(zhǎng)出單晶

               

                                                    種籽晶                                 提拉

            最高加熱溫度

3000

懸浮電源

最大輸入功率

120KW

采用電源

IGBT懸浮專用電源

振蕩頻率

15-30KHZ(頻率自動(dòng)跟蹤)

冷卻水要求

電源≥0.2MPa              坩堝 ≥0.5MPa 

感應(yīng)線圈

懸浮爐專用線圈

輸入電壓

三相380V   50 HZ

融化速率

10~15min

坩堝

懸浮專用水冷銅坩堝

坩堝內(nèi)尺寸

Dia40X50mm

水冷銅坩堝

                               

精密提拉機(jī)構(gòu)

提拉速度:0.1-2000μm/s

提拉行程:0-100mm (可根據(jù)客戶需要定制)

轉(zhuǎn)速:0-40RPM

腔體內(nèi)尺寸

Dia700X800

腔體真空度

< 5X10 -4Pa(配分子泵,冷態(tài)極限真空度)

斷偶保護(hù)和顯示

過溫保護(hù)

 過流保護(hù)

欠壓保護(hù)(水壓)

真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝

 可以

 二次加料器(選購)

為了在真空熔煉過程中添加各種元素,因此在加料器里裝有特制的4格加料器料斗,加料器有蓋,能把加料器進(jìn)行真空密封。在熔煉抽真空之前,把元素預(yù)先放在加料器料斗中,在添加元素時(shí)借手輪轉(zhuǎn)動(dòng)加料器料斗,元素便從加料器口流出,流入到熔融金屬液面上,避免噴濺

 

觀察窗尺寸

  Dia 90mm

機(jī)

 

機(jī)組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

 分子泵

(方案一)

 

 分子泵型號(hào)

 FF160/620

  輸入電壓

 220V

  分子泵進(jìn)氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對(duì)空氣)

  600

分子泵極限壓強(qiáng)(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟動(dòng)壓強(qiáng)

<10Pa

      前機(jī)真空泵TRP-24

            

 

功率

0.75KW

電壓

220V

轉(zhuǎn)速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機(jī)泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強(qiáng)

4X10 -2Pa

擴(kuò)散泵TK150

(方案二)

   

電壓

220V

功率

1000W

極限真空度(在無泄露時(shí))

 10E-5

進(jìn)氣接口

DN150

出氣接口

DN40

注入油量

0.3L

抽氣速率(N2)

1000L/S

 

復(fù)合真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計(jì)測(cè)量范圍

10-5 -10 Pa

                                                                                

 

                                                                        VLF-CZ冷坩堝晶體生長(zhǎng)爐

        冷坩堝晶體生長(zhǎng)爐爐是將分瓣水冷銅坩堝置于強(qiáng)大的交變磁場(chǎng)中,利用感應(yīng)渦流加熱水冷銅坩堝中的金屬使其融化,依靠電磁力使熔融金屬與水冷銅坩堝不產(chǎn)生密切接觸。這樣就避免了坩堝對(duì)需要熔煉材料的污染,金屬熔化后,籽晶桿邊旋轉(zhuǎn)邊提拉,從而能夠生長(zhǎng)出高純度的金屬單晶或合金單晶。

一、本設(shè)備特點(diǎn)

1、采用臥式爐體,側(cè)部開門結(jié)構(gòu),進(jìn)出料方便,爐體結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間較小

2、可以30段程序控溫,控溫精確,可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。

3、可以方便的更換不同的線圈以滿足熔煉不同KG數(shù)的物料

4、安裝有觀察孔,可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況

5、可安裝紅外測(cè)溫儀,可以精確的測(cè)量坩堝內(nèi)液體的溫度(選購)

6、配有擴(kuò)散泵或分子泵機(jī)組,真空度可達(dá)5X10-3Pa

7、電極和坩堝可以在爐體外手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),液體可以在腔體內(nèi)完成傾倒和澆鑄,這樣就避免了澆鑄的危險(xiǎn)和可以在真空下澆鑄。

8、具有二次加料系統(tǒng)。

9、轉(zhuǎn)動(dòng)電極和爐體之間采用威爾遜密封,密封性能好,轉(zhuǎn)動(dòng)較輕松。

10、安裝有水冷機(jī),水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警,使用安全可靠(選購)。

11、采用IGBT電源,具有過溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。

12、VLF系列真空懸浮熔煉爐是一款專用的現(xiàn)代化高純度熔煉設(shè)備,該設(shè)備真空度高、結(jié)構(gòu)緊湊、外形美觀,是一款適合于大專院校、科院院所和工礦企業(yè)等做材料高純?nèi)蹮挕㈣T造用的理想產(chǎn)品。本產(chǎn)品主要在真空或保護(hù)氣氛條件下對(duì)金屬材料(如鈦、鎳、鈷等合金)及稀土超磁、伸縮合金、濺射靶材、多晶硅、高純稀土金屬的冶煉和提純。

 

二、設(shè)備優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)

     1、能夠熔煉高熔點(diǎn)的金屬材料;

          2、由于沒有來自坩堝的雜質(zhì),可以生長(zhǎng)超高純度的金屬單晶;
          4、縮短熔化時(shí)間,達(dá)到快速熔化;
         5、對(duì)水冷銅坩堝的損傷較小,水冷紫銅坩堝具有良好的使用壽命;
         6、水冷銅坩堝和熔融的金屬液之間的軟接觸,減少了坩堝的冷卻負(fù)載,減少了熱量損失,降低能耗;
         7、金屬熔液在非接觸狀態(tài)下容易從坩堝內(nèi)倒出;
         

                              

三、水冷系統(tǒng)(選購):感應(yīng)爐、水冷銅坩堝上需要水冷卻。

 

四、結(jié)構(gòu)說明

    本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、澆注裝置、充氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源控制系統(tǒng)等組成

1、爐體:為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu),保證爐殼溫度不超過60℃。爐蓋打開方式為手動(dòng),并加有鎖緊裝置,爐蓋上設(shè)有觀察孔,方便觀察爐內(nèi)情況。

2、爐架:由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu),爐體安置在爐架上。

3、回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):與爐體用法蘭連接,感應(yīng)線圈由銅管繞成螺旋形從爐體引出,采用威爾遜密封,密封可靠,坩堝可放在感應(yīng)線圈上通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)做任意角度旋轉(zhuǎn)以完成溶化后的熔液傾倒?jié)茶T。

4、真空系統(tǒng):采用二級(jí)泵,即一臺(tái)擴(kuò)散泵(分子泵)與一臺(tái)直聯(lián)泵,真空機(jī)組上設(shè)有高真空擋板閥以及KF 快速連接真空放氣閥和充氣閥。

5、電源控制系統(tǒng):IGBT 懸浮專用電源、全數(shù)字電路等,電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路,電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,控溫精度高,操作方便。

6、水冷系統(tǒng):由各種閥、管道等相關(guān)裝置組成,并設(shè)有斷水時(shí)聲光報(bào)警、自動(dòng)切斷加熱電源功能。

7、水溫檢測(cè):安裝有溫度計(jì)檢測(cè)水冷銅坩堝的出水溫度,溫度過高時(shí)會(huì)自動(dòng)保護(hù),以免水冷銅坩堝被燒壞。

8、精密提拉機(jī)構(gòu):可邊旋轉(zhuǎn)邊提拉

 

供貨范圍:                     

序號(hào)

 產(chǎn)品名稱

 生產(chǎn)廠家

數(shù)量

1

爐體系統(tǒng) 

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

2

分子泵(或擴(kuò)散泵)

KYKY  (成都南光)

1 臺(tái)

3

紅外測(cè)溫儀

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

4

復(fù)合真空計(jì)

成都正華

1 臺(tái)

5

IGBT懸浮專用電源

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

6

匯流水管

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

7

氣動(dòng)真空擋板閥

川北科技

3 件

8

懸浮專用水冷線圈

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1套

9

真空管路

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

10

說明書

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套

11

機(jī)械泵

北京優(yōu)成

1臺(tái)

12

懸浮專用水冷銅坩堝

南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司

1 套



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