型號

ALD-TL1200-PE -I

ALD-TL1200-PE -II  

ALD-TL1200-PE -III

ALD 控制面板

1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內液體

2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時間、交替次數(shù)等、用單片機或PLC 控制能夠達到ms）

ALD閥門

1、能夠在不到 5 ms 內完成閥門開啟或關閉

2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評估是循環(huán)次數(shù)超過了25000000次

3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達200°C（392°F）

ALD原理

ALD化學氣相沉積是將不同的反應前驅物以氣體脈沖的形式交替送入反應室中并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種方法（技術）

源瓶

源瓶特點

1、所用管件采用316L不銹鋼，內部經(jīng)400目機械拋光和電化學拋光，Ra≤0.25μm。

2、閥門采用美國世偉洛克球閥或隔膜閥。

3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。

4、氦質譜檢測泄漏率≤1.0*10mba L/s。

^{_{5、可盛裝化學品純度≥99.9995%。}}

^{_{6、總殘余元素量≤50PPb。}}

ALD-PECVD簡圖

1、 2個石英容器與ALD管路連接

2、 2個ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入

3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進入反應區(qū)域。

4、多個球閥控制管路的通過。

5、多個旁通支路、可以通氣其他氣體或運載氣體。

 功率

3.5KW

TL1200 管式爐

  爐管尺寸

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

外形尺（LXDXH）

1300X410X610

1300X410X610

1300X410X660

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

國產(chǎn)優(yōu)質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲）  點擊進入資料下

控制方式

 采用宇電程序控溫儀表（標配）

1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，

主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

（更換進口儀表，需要另外付費，選購）

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

（日本島電）

控溫模式

智能PID

斷偶保護和顯示

有

過溫保護

有

過流保護

有

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K  型

加熱段長度

440mm

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

射頻電源

（等離子體發(fā)生器）

功率輸出范圍

  0-500W

最大反射功率

200W

工作頻率

射頻：13.56MHZ±0.005%

功率穩(wěn)定度

 +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區(qū)域寬度

0-600mm 可調

匹配方式

 自動

冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

質量流量計

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作（使用）壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

方案一或方案二任選一個

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵 

方案一

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

Preiffer ACP15無油多級羅茨泵

方案二

型號

ACP15

電源

 AC100-240   50/60HZ

功率

450W

重量

25KG

最高氦氣漏率

5 · 10-8 Pa m3/s 

抽氣速率

14  m3/h

極限壓強

0.02Torr

進、排氣接口

KF25

電阻真空計

（方案一）

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 5 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷電容真空計

（方案二）

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC（配有220V變壓器）

真空計接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組（選購）

（方案一或方案二任選一個）

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

（方案一）

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S（對空氣）

  600

分子泵極限壓強（Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓（MPa）

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100pa

分子泵前級真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級泵)

（方案二） 

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率（L/S）

6

極限壓強

4X10 -2Pa

德國Pfeiffer真空泵

（方案二） 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率（N2）

33L/S

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 5 Pa