VS-0.1真空恒壓系統(tǒng)
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10Pa |
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真空擋板閥 |
KF16 |
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壓力恒定范圍 |
1000Pa ~ 20000Pa |
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壓力控制精確度 |
+/-0.1KPa |
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壓力控制方式 |
自動(dòng)控制 |
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型號(hào) |
FX16(2XZ-4B) |
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極限分壓強(qiáng)氣鎮(zhèn)關(guān) |
4X10-2Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1420r/min |
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水蒸氣抽速率 |
500L/h |
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電機(jī)功率 |
0.55KW |
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德國(guó)Preiffer ACP15 無(wú)油多級(jí)羅茨泵 |
型號(hào) |
Preiffer ACP15 |
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電源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽氣接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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極限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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壓力傳感器 |
最小測(cè)量單位 |
0.1KPa |
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測(cè)壓范圍 |
1000-20000Pa |
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對(duì)應(yīng)輸出信號(hào) |
4~20mA |
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接口規(guī)格 |
KF16 |
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一、 概述
該系統(tǒng)（能把管式爐內(nèi)的真空度抽到0.1Pa）由帶KF25接口的抽氣法蘭（自制）、高真空擋板法（中科科儀）、電阻真空計(jì)、波紋管（中科科儀）、支架（自制）、真空泵、變速器和真空控制器組成?？梢允构苁綘t爐管內(nèi)壓力在0.1-100KPa范圍內(nèi)任意值恒定，您給定一個(gè)值，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)讓壓力恒定在該值，并且沒(méi)有任何波動(dòng)。該設(shè)備廣泛的應(yīng)用于石墨烯的生長(zhǎng)、MOS2生長(zhǎng)和需要恒定負(fù)壓的二維材料的生長(zhǎng)，并可配套于MOCVD系統(tǒng)。
二、工作原理：
通過(guò)真空泵變速器和真空控制器來(lái)控制抽氣量的大小，而從使管式爐管內(nèi)壓力控制在一個(gè)恒定值。
三、詳細(xì)參數(shù)：
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10Pa |
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真空擋板閥 |
KF16 |
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壓力恒定范圍 |
0.1KPa ~ 100 KPa |
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壓力控制精確度 |
+/-0.1KPa |
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壓力控制方式 |
自動(dòng)控制 |
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型號(hào) |
FX16(2XZ-4B) |
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極限分壓強(qiáng)氣鎮(zhèn)關(guān) |
4X10-2Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1420r/min |
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水蒸氣抽速率 |
500L/h |
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電機(jī)功率 |
0.55KW |
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德國(guó)Preiffer ACP15 無(wú)油多級(jí)羅茨泵 |
型號(hào) |
Preiffer ACP15 |
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電源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽氣接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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極限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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壓力傳感器 |
最小測(cè)量單位 |
0.1KPa |
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測(cè)壓范圍 |
0-100.0KPa |
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對(duì)應(yīng)輸出信號(hào) |
4~20mA |
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接口規(guī)格 |
KF16 |
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