1200度原子層氣相沉積系統(tǒng)
|
型號 |
ALD-TL1200-1200-H-C-I |
ALD-TL1200-1200-H-C-II |
ALD-TL1200-1200-H-C-III |
|||
|
TL1200 管式爐 |
功率 |
4KW |
4KW |
4KW |
||
|
石英管:60/80/100*1500mm(管徑可選） 兩邊各放置一個(gè)爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
|
||||||
|
外形尺（LXDXH） |
1500X450X600 |
1500X450X600 |
1500X510X650 |
|||
|
電源電壓 |
220V |
|||||
|
相數(shù) |
單相 |
|||||
|
加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
|||||
|
控制方式
|
采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)，過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷 時(shí)，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）
|
|||||
|
控溫模式 |
智能PID |
|||||
|
斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
|||||
|
過溫保護(hù) |
有 |
|||||
|
過流保護(hù) |
有 |
|||||
|
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
|||||
|
觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
|||||
|
電器 |
浙江正泰 |
|||||
|
可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
|||||
|
最高溫度 |
溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1200 ℃ |
|||||
|
額定溫度 |
溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1100 ℃ |
|||||
|
升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
|||||
|
推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
|||||
|
熱電偶型號 |
溫區(qū)一：K 型 溫區(qū)二：K型 |
|||||
|
加熱段長度 |
溫區(qū)一：200mm 溫區(qū)二：200 mm |
|||||
|
溫場曲線 |
|
|||||
|
電器認(rèn)證 |
|
|||||
|
四周表面溫度 |
≤45℃ |
|||||
|
法蘭和閥門 |
|
|||||
|
|
|
量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
|||
|
耐壓 |
3MP |
|||||
|
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
|||||
|
最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
|||||
|
線性 |
±0.5%F.S. |
|||||
|
重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
|||||
|
路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
|||||
|
接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
|||||
|
系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
|||||
|
工作溫度 |
5-45℃ |
|||||
|
壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
|||||
|
靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
|||||
|
接口 |
Dia6 / 1/4” |
|||||
|
|
電源 |
220V |
||||
|
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
|||||
|
波紋管 |
KF25X1000mm |
|||||
|
用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
|||||
|
真空擋板閥 |
KF25 |
|||||
|
|
型號 |
VRD-8 |
||||
|
極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
|||||
|
進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
|||||
|
電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
|||||
|
抽氣速率 |
2.2L/S |
|||||
|
電機(jī)功率 |
0.4KW |
|||||
|
|
型號 |
PCG554 |
||||
|
輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
|||||
|
真空計(jì)接口 |
KF16 |
|||||
|
數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
|||||
|
產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
|||||
|
重量 |
5 lbs |
|||||
|
檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。 |
|||||
|
是否防腐 |
防腐 |
|||||
|
響應(yīng)時(shí)間 |
≤30ms |
|||||
|
測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
|||||
|
|
機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
||||
|
波紋管 |
KF40X1000 |
|||||
|
真空擋板閥 |
KF40 |
|||||
|
機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
|||||
|
|
分子泵型號 |
FJ620 |
||||
|
輸入電壓 |
380V |
|||||
|
分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
|||||
|
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
|||||
|
分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
|||||
|
冷卻方式 |
水冷 |
|||||
|
冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
|||||
|
冷卻水溫度 |
<25℃ |
|||||
|
環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
|||||
|
建議啟動壓強(qiáng) |
<10pa |
|||||
|
|
功率 |
0.75KW |
||||
|
電壓 |
380V |
|||||
|
轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
|||||
|
進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
|||||
|
前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
|||||
|
極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
|||||
|
|
電壓 |
220V |
||||
|
功率 |
110W |
|||||
|
抽氣接口 |
KF40 |
|||||
|
重量 |
150KG |
|||||
|
前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
|||||
|
抽氣速率（N2） |
33L/S |
|||||
|
|
復(fù)合真空計(jì)型號 |
ZDF |
||||
|
電源 |
220V 55W |
|||||
|
控制精度 |
± 1% |
|||||
|
真空計(jì)測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
|||||
ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)由滑動管式爐、石英真空室、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。
這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)以 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，過零觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、價(jià)格優(yōu)惠等優(yōu)點(diǎn)。
開蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時(shí)要注意）、不會生銹，使用時(shí)間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，空開會自動斷開。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
.jpg)
7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
|
描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
|
TL1200-1200 雙溫區(qū)滑動管式爐 |
1 臺 |
|
|
石英管 |
1根 |
|
|
不銹鋼法蘭 |
1 套 |
|
|
不銹鋼爐鉤 |
1 根 |
|
|
氧化鋁爐塞 |
3個(gè) |
|
|
高溫手套 |
1 對 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1 個(gè) |
|
|
COM轉(zhuǎn)USB接口 |
1 套 |
|
|
說明書 |
1 份 |
|
|
軟件 |
1份 |
|
供氣系統(tǒng) |
|
||
|
|
|||
|
抽氣系統(tǒng) |
真空泵 |
|
|
|
|
|
||
|
FX-16 |
|
||
|
德國普發(fā)分子泵 |
|
||
|
電阻真空計(jì) |
|
||
|
復(fù)合真空計(jì) |
|
||
|
波紋管 |
KF25 |
|
|
|
KF40 |
|||
|
真空擋板閥 |
KF25 |
|
|
|
KF40 |
|||
|
KF卡套 |
KF25 |
|
|
|
KF40 |
|||
|
KF三通 |
KF25 |
|
|
