1700度高真空管式爐
TL1700-C單溫區(qū)CVD系統(tǒng)詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| TL1700管式爐 |
型號(hào) |
TL1700-C-I |
TL1700-C-II |
TL1700-C-III |
|
| 爐管尺寸OD（mm） |
高純剛玉管:60/80/100*1000mm(管徑可選） 兩邊各放置兩個(gè)爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
|
||||
|
功率 |
5KW |
5KW |
6KW |
||
|
最高溫度 |
1700℃ |
||||
|
額定溫度 |
1650℃ |
||||
|
真空爐管內(nèi)真空度 |
8X10 -4 |
||||
|
電壓 |
220V / 380V |
||||
|
相數(shù) |
單相 |
||||
|
加熱元件 |
1800型硅鉬棒 |
||||
|
爐膛 |
1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進(jìn)口） |
||||
|
控制方式
|
采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)） |
||||
|
控溫模式 |
智能PID |
||||
|
斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
||||
|
過溫保護(hù) |
有 |
||||
|
過流保護(hù) |
有 |
||||
|
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
||||
|
觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
||||
|
電器 |
浙江正泰 |
||||
|
可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門康 |
||||
|
升溫速率 |
≤20℃/分鐘（可根據(jù)要求修改） |
||||
|
推薦升溫速率 |
≤10℃/分 |
||||
|
加熱段長(zhǎng) |
300mm |
||||
|
熱電偶 |
B型 |
||||
|
溫度校準(zhǔn)（選配） |
定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購(gòu)一套簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補(bǔ)償導(dǎo)線 |
||||
|
電器認(rèn)證 |
CE |
||||
|
四周表面溫度 |
≤45℃ |
||||
|
法蘭和閥門 |
|
||||
|
分子泵機(jī)組
|
機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
|||
|
波紋管 |
KF40X1000 |
||||
|
真空擋板閥 |
KF40 |
||||
|
分子泵
|
分子泵型號(hào) |
FJ620 |
|||
|
輸入電壓 |
380V |
||||
|
分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
||||
|
分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
||||
|
分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
||||
|
冷卻方式 |
水冷 |
||||
|
冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
||||
|
冷卻水溫度 |
<25℃ |
||||
|
環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
||||
|
建議啟動(dòng)壓強(qiáng) |
<10pa |
||||
|
分子泵前級(jí)真空泵 FX-32 |
功率 |
1.5KW |
|||
|
電壓 |
380V |
||||
|
轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
||||
|
進(jìn)氣口徑 |
KF40 |
||||
|
前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
||||
|
極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
||||
|
復(fù)合真空計(jì)
|
復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF-III |
|||
|
電源 |
220V 55W |
||||
|
控制精度 |
± 1% |
||||
|
真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
||||
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時(shí)，爐體溫度高于1500℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊
5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
7.MoSi2加熱元件不得長(zhǎng)時(shí)間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件
TL1700 產(chǎn)品描述
管式爐以硅鉬棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa,該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
1、加熱元件
.jpg)
（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長(zhǎng)。
（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長(zhǎng)
（3）、Lu冷端長(zhǎng)度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長(zhǎng)爐頂溫度低。
（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，空開會(huì)自動(dòng)斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
進(jìn)口爐膛 VS 國(guó)產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、該爐膛不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、觸發(fā)器
.jpg)
軟啟動(dòng)限流觸發(fā)器 大部分廠家使用的非限流
廈門博特觸發(fā)器
1、移相觸發(fā)（帶軟啟動(dòng)和限流功能）
2. 限流功能：無論怎么調(diào)節(jié)升溫時(shí)間，我們電爐經(jīng)過變壓器后的二次電流被限制在170A以內(nèi)，有限的保護(hù)了設(shè)備。非限流觸發(fā)器，如果升溫速率設(shè)置錯(cuò)誤或者過快、低溫時(shí)電流非常大，設(shè)備會(huì)跳閘或燒壞。
3、軟啟動(dòng)功能：開機(jī)時(shí)電流會(huì)慢慢增大，對(duì)加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長(zhǎng)
4、保護(hù)功能：如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會(huì)自動(dòng)切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。
7、UL認(rèn)證變壓器
8、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購(gòu)） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購(gòu)） 水冷法蘭（選購(gòu)）
9、認(rèn)證
.jpg)
管式爐標(biāo)準(zhǔn)配件
|
描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
|
TL1700管式爐 |
1套 |
|
|
剛玉管 |
1根 |
|
|
不銹鋼法蘭 |
1套 |
|
|
不銹鋼爐鉤 |
1個(gè) |
|
|
氧化鋁爐塞 |
1對(duì) |
|
|
高溫手套 |
1雙 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1個(gè) |
|
| B型熱電偶 | 1個(gè) |  |
|
485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1套 |
|
|
說明書 |
1本 |
|
|
法蘭支撐架 |
1對(duì) |
|
| 高真空抽氣系統(tǒng) | 1臺(tái) |  |
| 卡套 | 4個(gè) |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) |  |
